Messvorrichtung zur Vermessung und Überwachung mindestens eines Laserstrahls, Strahlführungssystem zur Führung mindestens eines Laserstrahls mit einer derartigen Messvorrichtung sowie Verwendung einer derartigen Messvorrichtung

Messvorrichtung (2a) zur Vermessung und Überwachung mindestens eines Laserstrahls (1b; 1f, 1h),- mit mindestens einer Richtungs-Überwachungseinrichtung (9a, 19a, 29b, 43a) zur Vermessung und Überwachung einer Richtung des Laserstrahls (1b; 1f, 1h),- mit mindestens einer Orts-Überwachungseinrichtung (43a) zur Vermessung und Überwachung eines Laserstrahl-Ortes in einer Überwachungsebene (69a),- mit mindestens einer Energie-Überwachungseinrichtung (29a) zur Vermessung und Überwachung einer Laserstrahl-Energie,- wobei zumindest eine der Einrichtungen aus der Gruppe-- Richtungs-Überwachungseinrichtung (9a, 19a, 29b, 43a),-- Orts-Überwachungseinrichtung (43a),-- Energie-Überwachungseinrichtung (29a), eine Präzisions-Überwachungseinheit (9a, 43a) zur präzisen Überwachung einer zu überwachenden Größe und eine Schnellinformations-Überwachungseinheit (19a, 29a, 29b) zur schnellen Überwachung der zu überwachenden Größe aufweist,- wobei die Messvorrichtung (2a) eingangsseitig mindestens ein Einengungs-Teleskop (8; 28) zur Reduktion eines Eingangs-Durchmessers eines Laserstrahl-Bündels des mindestens einen zu vermessenden Laserstrahls (1b; 1f; 1h) aufweist, und- wobei mindestens ein weiteres Teleskop (11, 14; 20, 22; 30, 33; 30, 40; 47, 65; 88, 70; 88, 73) zur Abbildung einer Austrittspupille des Einengungs-Teleskops (8; 28) in eine Eintrittspupille einer Kamera (18) der Messvorrichtung (2a) vorgesehen ist,- wobei das weitere Teleskop (11, 14; 20, 22; 30, 33; 30, 40; 47, 65; 88, 70; 88, 73) zur Abbildung der Austrittspupille des Einengungs-Teleskops (8; 28) in die Eintrittspupille der Kamera (18) der Messvorrichtung (2a) als Kepler-Teleskop ausgeführt ist. The measuring device (2a) has directional control unit provided for measuring and monitoring the direction of the laser beam (1f,1h). A location monitor (43a) measures and monitors laser beam in place of a control plane (69a). A power monitoring device (29a) measures and monitors laser beam energy. A high-precision monitoring unit (9a) performs precise control of a variable to be monitored. A quick information monitoring unit (19a,29b) performs rapid monitoring of the monitored variable. An independent claim is included for beam guidance system for guide of laser beam to measurement device.