Sensormodul mit zwei mikromechanischen Sensorelementen

Sensormodul (100) mit mindestens zwei mikromechanischen Sensorelementen (1, 2), deren Sensorfunktion auf dem direkten oder indirekten Einwirken eines Messmediums beruht, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Sensorelemente (1, 2) in einem gemeinsamen Gehäuse (40) mit mindestens einer Zugangsöffnung (43) für das Messmedium angeordnet sind und dass die mindestens zwei Sensorelemente (1, 2) Bauelementrückseite auf Bauelementvorderseite übereinander gestapelt sind, so dass das obere Sensorelement (1) den aktiven Bereich des unteren Sensorelements (2) zumindest teilweise überdeckt, jedoch das für die Sensorfunktion erforderliche Einwirken des Messmediums auf den aktiven Bereich des unteren Sensorelements (2) gewährleistet ist, dass die mindestens zwei Sensorelemente (1, 2) jeweils eine druckempfindliche Membranstruktur (11, 21) umfassen, dass das eine Sensorelement (2) als Drucksensorelement (2) und das andere Sensorelement (1) als Mikrofonbauelement (1) fungiert und dass zumindest die Membranstruktur (11) des Mikrofonbauelements (1) eine Kaverne (12) in seiner Bauelementrückseite überspannt. A cost-effective and extremely space-saving module approach is provided for at least two micromechanical sensor elements having the same packaging requirements. The sensor module described here includes at least two micromechanical sensor elements whose sensor function is based on the direct or indirect impact of a measuring medium. The at least two sensor elements are situated in a shared housing having at least one access opening for the measuring medium, and the at least two sensor elements are stacked with one component back side on one component front side, so that the upper sensor element at least partially covers the active area of the lower sensor element, while still ensuring the impact of the measuring medium, which is used for the sensor function, on the active area of the lower sensor element.