Highly soluble positioning device i.e. two coordinate stepper motor, has position measuring system whose measuring head is located in coil array free space such that rotor is free from electrical or electronic current-carrying parts

The device has a coil array (1) arranged with three groups of flat coils on a stator. The coil array has a free space (6) on the stator and is provided with permanent magnetically excited circuits located on a rotor (3), where the circuits form a magnet array having a free space that accommodates a position measuring system. The system comprises a triangle-shaped or six dimensional (6D) measuring head (8) with sensors and a surface scale, where the measuring head is located in the coil array free space. The rotor is free from drive-relevant electrical or electronic current-carrying parts. The coil groups are executed as components with cooling pipes. Die Erfindung betrifft eine hochauflösende Positioniereinrichtung mit einem Stator und einem Läufer, einem auf dem Stator angeordneten Spulenarray mit wenigstens drei Gruppen von Flachspulen, wobei jede Gruppe mindestens zwei Einzelspulen aufweist und das Spulenarray einen Freiraum auf dem Stator einschließt, weiterhin mit auf, an oder in dem Läufer befindlichen permanentmagnetisch erregten Kreisen, welche ein Magnetarray bilden, das ebenfalls einen Freiraum einschließt, wobei die Freiräume ein Positionsmesssystem aufnehmen, das einen Messkopf mit Sensoren und einen Flächenmaßstab besitzt. Erfindungsgemäß ist die Einrichtung als freischwebender, magnetisch geführter sechsdimensionaler Antrieb ausgebildet, wobei sich der Messkopf im Spulenarray-Freiraum und der Flächenmaßstab im Magnetarray-Freiraum befinden sowie der Läufer frei von antriebsrelevanten elektrischen oder elektronischen und diesbezüglich stromführenden Teilen ist.