Haltevorrichtung für Halbleitertest

Haltevorrichtung zur Verwendung in einem Halbleitertest, wobei die Haltevorrichtung umfasst:eine Haltevorrichtungsgrundplatte (1), auf der ein Prüffinger (3) und ein Isoliermaterial (2) angeordnet sind, wobei das Isoliermaterial (2) den Prüffinger (3) in der Draufsicht umgibt; undeinen Tisch (6), der so angeordnet ist, dass er einer Oberfläche der Haltevorrichtungsgrundplatte (1), auf der der Prüffinger (3) und das Isoliermaterial (2) angeordnet sind, gegenüberliegt, wobei der Tisch (6) ein Testobjekt (4) auf einer der Haltevorrichtungsgrundplatte (1) gegenüberliegenden Oberfläche des Tischs (6) halten kann, wobei dann,wenn sich die Haltevorrichtungsgrundplatte (1) und der Tisch (6) in Richtung einer gegenseitigen Annäherung bewegen, während das Testobjekt (4) auf dem Tisch (6) angeordnet ist, der Prüffinger (3) mit einer auf dem Testobjekt (4) gebildeten Elektrode in Kontakt gelangt und das Isoliermaterial (2) mit dem Testobjekt (4) in Kontakt gelangt,die Haltevorrichtungsgrundplatte (1) mit einer Aussparung in derselben Form wie das Isoliermaterial (2) versehen ist, die eine Stelle zum Anordnen des Isoliermaterials (2) definiert, unddie Haltevorrichtungsgrundplatte (1) ein elastisches Element (7) enthält, das zwischen der Haltevorrichtungsgrundplatte (1) und dem Isoliermaterial (2) angeordnet ist,wobei das elastische Element (7) ein Federstift oder eine Feder ist. A jig for use in a semiconductor test includes: a base on which a probe pin and an insulating material are placed, the insulating material surrounding the probe pin in plan view; and a stage arranged to face a surface of the base on which the probe pin and the insulating material are placed. The stage is capable of holding a test object on a surface of the stage facing the base. When the base and the stage move in a direction in which they go closer to each other while the test object is placed on the stage, the probe pin comes into contact with an electrode formed on the test object and the insulating material comes into contact with the test object.