Sight glass for vacuum treatment apparatus, for optically controlling processes in plant chamber, comprises a glass sheet and an enclosure, and an optical line, where glass sheet is prism, such that optical line is angled at least one time

Sight glass (1), which is present in the form of a insight device for a vacuum treatment apparatus, for optically controlling processes in a plant chamber (2), comprises a glass sheet and an enclosure, and an optical line, which describes the optical path through the sight glass, where the glass she...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: DASLER, ANDREAS, HENTSCHEL, MICHAEL
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Sight glass (1), which is present in the form of a insight device for a vacuum treatment apparatus, for optically controlling processes in a plant chamber (2), comprises a glass sheet and an enclosure, and an optical line, which describes the optical path through the sight glass, where the glass sheet is a prism, such that the optical line is angled at least one time. The plant chamber comprises a wall (3), which separates atmospheric pressure region (4) from sub-atmospheric pressure region (5) and the glass sheet is fixed in the enclosure and the enclosure is fixed in the wall. An independent claim is also included for an arrangement comprising a sight glass, where the transmission of an optical signal from a source to a receiver is provided along the optical line. Die Erfindung betrifft ein Schauglas in der Art einer Einblickvorrichtung für eine Vakuumbehandlungsanlage, das eine optische Kontrolle oder Prüfung von Vorgängen innerhalb der Anlage während des laufenden Anlagenbetriebes von außen zulässt. Der Einsatz des Schauglases bietet sich insbesondere bei Behandlungsverfahren, die Streudämpfe zur Folge haben, an. Zur Gattung aufgezeigte Schaugläser für Vakuumbehälter, -anlagen oder -kammer stellt es sich die Erfindung zum Ziel, ein solches Schauglas zu finden, das Streudampfbeschichtungen an deren vakuumseitiger Oberfläche weitestgehend unterbindet. Es zeichnet sich ein erfindungsgemäßes Schauglas (1) dadurch aus, dass die Glasscheibe ein Prisma (10) ist, sodass die optische Linie (9) mindestens einmal gewinkelt ist.