Probenpositioniereinrichtung und Verfahren zu ihrem Betrieb

Die Erfindung bezieht sich auf eine Probenpositioniereinrichtung (23, 24, 25) mit einem Probenhalter (14, 22), an dem eine Probe (5) befestigbar ist, wobei der Probenhalter mittels einer ersten Dreheinrichtung (14, 15) um eine erste Achse (1a) drehbar ist, wobei die erste Dreheinrichtung mittels einer ersten Verschiebeeinrichtung (16, 17) auf dem um eine zweite Achse (3a) drehbaren Teil (18) einer zweiten Dreheinrichtung gelagert ist, wobei die zweite Achse (3a) zur ersten Achse (1a) im Wesentlichen kolinear ist und wobei die erste Verschiebeeinrichtung (16, 17) eine translatorische Bewegung der ersten Dreheinrichtung gegenüber der zweiten Dreheinrichtung derart ermöglicht, dass der Abstand zwischen der ersten Achse (1a) und der zweiten Achse (3a) veränderbar ist. Durch die genannte Kombination zweier Dreheinrichtungen mit einer Verschiebeeinrichtung kann ein zu untersuchender Probenbereich in den Untersuchungsbereich einer Messeinrichtung gebracht und dort nachfolgend beliebig orientiert werden. Der genannte Aufbau ermöglicht eine Handhabung der Probe mit minimalen Mitteln auf engstem Raum.