Verfahren zum Überwachen der Bearbeitung sowie Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einem hochenergetischen Bearbeitungsstrahl

Verfahren zum Überwachen der Bearbeitung eines Werkstücks (12) mit einem hochenergetischen Bearbeitungsstrahl, enthaltend folgende Schritte- Beleuchten wenigstens einer Auftreffstelle des Bearbeitungsstrahls (18) auf das Werkstück (12) mittels einer Beleuchtungsquelle (32), die ein Licht mit einer anderen Frequenz und Intensität als die des Bearbeitungsstrahls (18) erzeugt,- Aufnehmen und Speichern einer Reihe von elektronisch auswertbaren Bildern, die wenigstens die Auftreffstelle des Bearbeitungsstrahls (18) auf das Werkstück enthalten, während der zu überwachenden Bearbeitung,- Erfassen einer Reihe von Ist-Werten wenigstens eines die zu überwachende Bearbeitung bestimmenden Prozessparameters durch wenigstens einen Sensor synchron mit der Aufnahme der Reihe von elektronisch auswertbaren Bildern und Speichern der erfassten Ist-Werte, und- Auswerten der gespeicherten elektronisch auswertbaren Bilder, bei dem die elektronisch auswertbaren Bilder mit dem Licht mit einer anderen Frequenz und Intensität als die des Bearbeitungsstrahls (18) erzeugt werden, und die elektronisch auswertbaren Bilder und die Ist-Werte derart gespeichert werden, dass ein zu einem ersten Zeitpunkt (t1) aufgenommenes Bild einem zu dem ersten Zeitpunkt (t1) erfassten Ist-Wert zuordenbar ist.