Vorrichtung und Verfahren zum Schutz einer optischen Oberfläche

Vorrichtung mitmehreren optischen Bauteilen (100; 200; 300), die mit einem Substrat (102) verbunden sind,einer Schutzschicht (104, 108; 204; 304) mit mehreren darin angeordneten Vertiefungen (110; 210; 310), wobei die Vertiefungen (110; 210; 310) jeweils außerhalb von einem der mehreren mit dem Substrat (102) verbundenen optischen Bauteile (100; 200; 300) und in einem optischen Pfad des jeweiligen einen der mehreren mit dem Substrat (102) verbundenen optischen Bauteile (100; 200; 300) angeordnet sind, undeiner Antireflexionsschicht (106; 206; 306), die in jeder der mehreren Vertiefungen (110; 210; 310) in der Schutzschicht (104, 108; 204; 304) angeordnet ist, wobei die Antireflexionsschicht (106; 206; 306) so beschaffen ist, dass sie einen darauf auftreffenden Lichtstrahl (112) empfängt, die Reflexion des Lichtstrahls (112) minimiert, die Charakteristik des empfangenen Lichtstrahls (112) modifiziert und einen modifizierten Lichtstrahl (112) in die Schutzschicht (104, 108; 204; 304) zu dem jeweiligen einen der mehreren optischen Bauteile (100; 200; 300) durchlässt. According to one embodiment, a method includes receiving a light beam at an anti-reflective layer of optically transmissive material. The anti-reflective layer has an outer surface disposed within a recess of a protective layer of optically transmissive material, such that the outer surface is protected by the recess and the protective layer from being contacted. The outer surface is further disposed along an optical path of an optical device disposed inwardly from the outer surface. The anti-reflective layer has an average cross-sectional thickness that is less than an average cross-sectional thickness of the protective layer. The method further includes modulating the light beam using the anti-reflective layer.