Linear motion device used for e.g. optical displacement measuring, has connecting portion that is made of two materials with different thermal expansion coefficients and connected to scanning device and table portion

The device (10) has a linear motor with an electrical coil primary portion (30) connected with a table portion (23), and a secondary portion (31) connected with a main portion (20). A measuring system is provided with a scale (51) attached to main portion and a scanning device (50) for scanning the scale. The scanning device is attached to table portion and positioned at a small distance opposite to the scale. The connecting portion (40) made of two materials with different thermal expansion coefficients, is connected to scanning device and table portion. Die Erfindung betrifft eine Linearbewegungsvorrichtung (10) mit einem Grundkörper (20) und einem Tischteil (23), welches bezüglich einer Längsrichtung (11) beweglich an dem Grundkörper (20) gelagert ist, wobei ein Linearmotor mit einem mit elektrischen Spulen versehenen Primärteil (30) und einem langgestreckten Sekundärteil (31) vorgesehen ist, wobei das Primärteil (30) mit dem Tischteil (23) fest verbunden ist, so dass die Abwärme des Primärteils (30) über das Tischteil (23) abgeführt werden kann, wobei das Sekundärteil (31) mit dem Grundkörper (20) fest verbunden ist, wobei ein Wegmesssystem mit einer langgestreckten Maßverkörperung (51) und einer Abtastvorrichtung (50) zum Abtasten der Maßverkörperung (51) vorgesehen ist, wobei die Maßverkörperung (51) an dem Grundkörper (20) befestigt ist, wobei die Abtastvorrichtung (50) derart an dem Tischteil (23) befestigt ist, dass sie mit geringem Abstand gegenüberliegend zur Maßverkörperung (51) angeordnet ist. Erfindungsgemäß ist ein langgestreckter, biegeverformbarer Verbindungsabschnitt (40) mit einem ersten und einem gegenüberliegenden zweiten Ende (43; 44) vorgesehen, wobei die Abtastvorrichtung (50) an dem ersten Ende (43) des Verbindungsabschnitts (40) befestigt ist, wobei das zweite Ende (44) des Verbindungsabschnitts (40) an dem Tischteil (23) befestigt ist, wobei der Verbindungsabschnitt (40) aus wenigstens zwei Materialien mit verschiedenen Wärmeausdehnungskoeffizienten besteht.