Suspension zum Schutz eines Halbleitermaterials und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkörpers
Suspension zum Schutz eines Halbleitermaterials, aufweisend:- ein Trägermedium (1), und- anorganische Partikel (2), wobei- die Suspension einen der folgenden Zusätze aufweist:Absorber-Dye, Weichmacher, wobei der Absorber-Dye ein Benzotriazolderivat ist, und wobei der Weichmacher Dioctylphthalat oder...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| Zusammenfassung: | Suspension zum Schutz eines Halbleitermaterials, aufweisend:- ein Trägermedium (1), und- anorganische Partikel (2), wobei- die Suspension einen der folgenden Zusätze aufweist:Absorber-Dye, Weichmacher, wobei der Absorber-Dye ein Benzotriazolderivat ist, und wobei der Weichmacher Dioctylphthalat oder Trimethylolpropan ist.
A suspension for protecting a semiconductor material, comprising a carrier medium, trimethylolpropane as a plasticizer, benzotriazole derivate as an absorber dye, and inorganic particles selected from the group consisting of aluminum nitride, silicon nitride and boron nitride, wherein the thermal conductivity of the suspension is about 1 W/mk to about 2 W/mk. |
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