Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen mit einem Glassubstrat

Es wird ein Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen offenbart. Es wird ein Halbleiterwafer (10) mit einer ersten Oberfläche (11) und einer zweiten Oberfläche (12) gegenüber der ersten Oberfläche (11) bereitgestellt. Es wird ein erstes Glassubstrat (20) bereitgestellt, das Hohlräume (21)...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	LACKNER, GERALD, OTTOWITZ, MARKUS, VON KOBLINSKI, CARSTEN, SCHRETTLINGER, KARIN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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