Vorrichtung zur Aerosolerzeugung und Abscheiden einer lichtemittierenden Schicht

Vorrichtung mit einem Vorratsbehälter (4) zur Aufnahme eines Pulvers (5) und mit einer Förderschnecke (8), um eine dosierte Menge des Pulvers (5) aus dem Vorratsbehälter (4) zu einer Einspeisestelle (13) zu fördern, an welcher Einspeisestelle (13) das Pulver (5) in einen von einer Trägergasleitung (12) bereitgestellten Trägergasstrom (25) gelangt, um als Schwebeteilchen im Trägergasstrom (25) durch eine Aerosolleitung (15) zu einem Verdampfer (16) abtransportiert zu werden, in welchem die Schwebeteilchen durch Zufuhr von Wärme zu einem Dampf verdampft werden, der vom Trägergasstrom (25) durch eine Dampfleitung (17) zu einem Gasverteiler (18) eines CVD-Reaktors (3) transportiert wird, der eine Prozesskammer (19) mit einem Suszeptor (21) aufweist zur Aufnahme eines Substrates (20), das durch Kondensation des Dampfes beschichtet wird, gekennzeichnet durch ein in der Trägergasleitung (12) angeordnetes Ventil (26), das zur Erzeugung eines gepulsten durch einen axialen Strömungskanal (10) der Förderschnecke (8) hindurchströmenden Trägergasstroms (25) abwechselnd geöffnet und geschlossen werden kann. The invention relates to a device, comprising a storage container (4) for receiving a powder (5) and a conveyor screw (8) in order to deliver a metered quantity of the powder (5) from the storage container (4) to a feed point (13), at which feed point (13) the powder (5) enters a carrier gas flow (25) to be transported away as suspended particles in the carrier gas flow (25) through an aerosol line (15). In order to improve an aerosol generator with regard to the technology thereof, the conveyor screw (8) comprises an axial flow duct (10) through which the carrier gas flow (25) flows.