Device for multi-coordinate drive in semiconductor industry, has rotor provided with frames forming rotor-linear drive acting orthogonal to displacement direction of frames, flat coil and magnetic strip arranged in frames

The device has a stator (1) in form of a solid base body with a planar running surface. A rotor (2) is moved and air-led on the stator. A frame arrangement guides the rotor. The frame arrangement is arranged and air-stored on the stator, and comprises a frame (3) moved in an X-direction and another frame (4) moved in a y-direction. The rotor with the frames forms a rotor-linear drive (8) acting orthogonal to a displacement direction of the frames. The rotor has a flat coil and a magnetic strip (6) arranged in the frames. An independent claim is also included for a method for positioning a rotor in a plane. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für einen Mehrkoordinatenantrieb und ein Verfahren zur Positionierung eines Läufers in der xy-Ebene. Die Vorrichtung besteht aus einem Stator in Form eines massiven Grundkörpers mit einer ebenen Laufoberfläche, einem auf dem Stator beweglichen und luftgeführten Läufer, einer auf dem Stator angeordneten und luftgelagerten, den Läufer führenden Rahmenanordnung aus einem in x-Richtung verschiebbaren ersten Rahmen und einen in y-Richtung verschiebbaren zweiten Rahmen. Der Läufer bildet mit dem ersten und dem zweiten Rahmen jeweils mindestens einen orthogonal zur Verschiebungsrichtung des jeweiligen Rahmens wirkenden Läufer-Linearantrieb, bestehend aus einer an dem Läufer angeordneten Flachspule und einer in jedem der Rahmen angeordneten Magnetleiste, aus.