Metallkomplexe mit N-Amino-Amidinat-Liganden

Die Erfindung betrifft neue Metallkomplexe mit N-Amino-Amidinat-Liganden, insbesondere Metallkomplexe mit N,N'-Bis(dimethylamino)-acetamidinat-, N,N'-Bis(dimethylamino)-formamidinat- und N-Dimethylaminoacetamidinat-Liganden sowie ihre Herstellung und Verwendung. Die Metallkomplexe weisen einen fünfgliedrigen Chelatring auf. Die Metallkomplexe werden mit den Metallen aus den Hauptgruppen des PSE aber auch mit Nebengruppenelementen wie Tantal (Ta), Eisen (Fe), Kobalt (Co), Nickel (Ni), Kupfer (Cu) oder (Zink), sowie mit Edelmetalle wie Palladium (Pd) gebildet. Die erfindungsgemäßen Komplexe finden Verwendung als Precursoren zur Herstellung von funktionellen Schichten mittels Gasphasen-Dünnschichtverfahren wie CVD, MO-CVD und ALD. Weiterhin können sie als Katalysatoren für die Olefin-Hydroaminierung und für die Olefin-Polymerisation eingesetzt werden. The invention relates to new metal complexes having N-aminoamidinate ligands, more particularly metal complexes having N,N′-bis(dimethylamino)acetamidinate, N,N′-bis(dimethylamino)formamidinate, N-dimethylaminoacetamidinate or N-dimethylamino-N′-isopropyl-acetamidinate ligands as well as to their preparation and use. The metal complexes are characterized by a five-membered chelate ring. The metal complexes are formed with the metals from the main groups of the PTE, but also with transition-group elements such as tantalum (Ta), iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), copper (Cu) or zinc (Zn), and also with precious metals such as palladium (Pd). The complexes of the invention find use as precursors for the preparation of functional layers by means of gas-phase thin-film processes such as CVD, MO-CVD and ALD. Additionally they may be used as catalysts for olefin hydroamination and for olefin polymerization.