Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement

Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement (B), umfassend - ein piezoelektrisches Substrat (PSU), - ein Dielektrikum (DL1), - einen oberhalb des Substrates (PSU) angeordneten Elektrodenfinger (EF) der einen Überlappungsbereich mit dem Dielektrikum (DL1) und eine mechanische Fingerbreite (wm) aufw...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Ruile, Werner, Dr, Berek, Stefan, Schmidhammer, Edgar, Dr, Rösler, Ulrike, Dr
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement (B), umfassend - ein piezoelektrisches Substrat (PSU), - ein Dielektrikum (DL1), - einen oberhalb des Substrates (PSU) angeordneten Elektrodenfinger (EF) der einen Überlappungsbereich mit dem Dielektrikum (DL1) und eine mechanische Fingerbreite (wm) aufweist, - einen Berührungsbereich, in dem der Elektrodenfinger (EF) das Substrat (PSU) berührt, wobei die Breite des Berührungsbereiches die elektrische Fingerbreite (we) des Elektrodenfingers (EF) definiert, - ein weiteres Dielektrikum (DL2), angeordnet in einem Überlappungsteilbereich zwischen dem Dielektrikum (DL1) und dem Elektrodenfinger (EF), wobei - das Dielektrikum (DL1) oberhalb des Substrates (PSU) und im Überlappungsbereich zwischen dem Substrat (PSU) und dem Elektrodenfinger (EF) angeordnet ist und - die Breite des Elektrodenfingers (EF) die mechanische Fingerbreite (wm) des Elektrodenfingers (EF) definiert. The invention concerns a component (B) operating with acoustic waves, in which the reflection and excitation are largely decoupled. For this purpose, a component comprises a dielectric (DL) which is arranged between an electrode finger (EF) and a piezoelectric substrate (PSU) and at least partially overlaps the electrode finger.