Method for correcting position of e.g. numerical machine tool of computer numerical control machine, relative to workpiece, for machining workpiece, involves measuring deviation of object from target position based on interference patterns

The method involves projecting divergent light waves (18A, 18B) i.e. spherical light waves, on a surface i.e. light sensitive surface, of a camera (19) attached to an object based on a reference location to form interference patterns on the surface. Phase differences between the waves are successively adjusted, and phase differences of the patterns on the surface are detected by a data processing device. Actual position of the object is determined, and deviation of the object from a target position is measured based on the patterns to correct the position of the object to certain degree. An independent claim is also included for a device for correcting a position of a moving object that is moved by a machine controller. Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Korrektur der Position eines durch eine Steuerung bewegten Objektes, insbesondere eines durch eine Maschinensteuerung bewegten Werkzeugs, bei dem ausgehend von einem Referenzort wenigstens zwei divergente Lichtwellen (18A, 18B) insbesondere Licht-Kugelwellen auf eine Sensorfläche eines Sensors (19) projiziert werden und auf der Sensorfläche (19) ein Interferenzmuster ausbilden, wobei der Sensor (19) am Objekt oder an einem mit dem Objekt verbundenen Element befestigt ist und mit dem Objekt bewegt wird, wobei zwischen den wenigstens zwei Lichtwellen (18A, 18B) zeitlich nacheinander verschiedene Phasendifferenzen eingestellt werden und zu mehreren eingestellten Phasendifferenzen die auf der Sensorfläche erzeugten Interferenzmuster mit einer Datenverarbeitungsvorrichtung erfasst werden und mit der Datenverarbeitungsvorrichtung aus den mehreren Interferenzmustern eine Ist-Position des Objektes ermittelt und wenigstens ein Maß für eine Abweichung zu einer Soll-Position bestimmt wird, wobei mit dem wenigstens einen bestimmten Maß die Steuerung zur Korrektur der Position des Objekts angesteuert wird.