Teilchenstrahlgerät mit Detektoranordnung

Die Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät (1, 24) mit einer Detektoranordnung. Das Teilchenstrahlgerät (1, 24) weist eine erste Teilchenstrahlsäule (16) auf, wobei die erste Teilchenstrahlsäule (16) einen ersten Strahlerzeuger zur Erzeugung eines ersten Teilchenstrahls und eine erste Objektivli...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DOENITZ, DIETMAR, WAGNER, CHRISTIAN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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