Teilchenstrahlgerät mit Detektoranordnung

Die Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät (1, 24) mit einer Detektoranordnung. Das Teilchenstrahlgerät (1, 24) weist eine erste Teilchenstrahlsäule (16) auf, wobei die erste Teilchenstrahlsäule (16) einen ersten Strahlerzeuger zur Erzeugung eines ersten Teilchenstrahls und eine erste Objektivlinse zur Fokussierung des ersten Teilchenstrahls auf ein Objekt (11) aufweist. Die erste Teilchenstrahlsäule (16) weist eine erste Strahlachse (28) auf. Ferner ist eine zweite Teilchenstrahlsäule (2) vorgesehen, wobei die zweite Teilchenstrahlsäule (2) einen zweiten Strahlerzeuger zur Erzeugung eines zweiten Teilchenstrahls und eine zweite Objektivlinse zur Fokussierung des zweiten Teilchenstrahls auf ein Objekt (11) aufweist, wobei die zweite Teilchenstrahlsäule (2) eine zweite Strahlachse (29) aufweist. Ein Detektor (12) ist zur Detektion von Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselwirkungsstrahlung vorgesehen, wobei vom Detektor (12) zu einem Objekt (11) eine Detektionsachse (33) verläuft. Die erste Strahlachse (28) der ersten Teilchenstrahlsäule (16) und die zweite Strahlachse (29) der zweiten Teilchenstrahlsäule (2) schließen einen ersten Winkel ( ) ein, der unterschiedlich zu 0° und 180° ist. Ferner sind die erste Strahlachse (28) der ersten Teilchenstrahlsäule (16) und die zweite Strahlachse (29) der zweiten Teilchenstrahlsäule (2) in einer ersten Ebene (32) angeordnet. Die Detektionsachse (33) des Detektors (12) und die erste Strahlachse (29) sind in einer zweiten Ebene (34) angeordnet. Darüber hinaus schließen die erste Ebene (32) und die zweite Ebene (34) einen zweiten Winkel (α) ein, der betragsmäßig im Bereich von 65° bis 80° liegt.