Piezoelektrische Resonatorstrukturen mit Temperaturkompensation

Ein elektrischer Resonator (100), der aufweist:ein Substrat (101);einen Hohlraum (106) in dem Substrat (101), undeinen Resonatortapel, der hängend über dem Hohlraum (106) gehalten ist und aufweist:eine erste Elektrode (102); eine zweite Elektrode (105), eine piezoelektrische Schicht (103); und eine...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Grannen, Kevin J, Choy, John, Rogers, Carrie A
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY ELECTRICITY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS RESONATORS
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