Piezoelektrische Resonatorstrukturen mit Temperaturkompensation

Ein elektrischer Resonator (100), der aufweist:ein Substrat (101);einen Hohlraum (106) in dem Substrat (101), undeinen Resonatortapel, der hängend über dem Hohlraum (106) gehalten ist und aufweist:eine erste Elektrode (102); eine zweite Elektrode (105), eine piezoelektrische Schicht (103); und eine Temperaturkompensationsschicht (104), die Borsilikatglas (BSG) aufweist, das eine Konzentration von Bor im Bereich von ungefähr 0,1 % bis 5,0 % Atommassenprozent oder Gewichtsprozent aufweist. An acoustic resonator comprises a substrate comprising a cavity. The electrical resonator comprises a resonator stack suspended over the cavity. The resonator stack comprises a first electrode; a second electrode; a piezoelectric layer; and a temperature compensating layer comprising borosilicate glass (BSG).