Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen akustischen Wandlern
Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen akustischen Wandlern, mit den Schritten:Vorsehen mindestens einer piezoelektrischen Schicht (10) mit Elektroden (12, 14); Polarisieren der piezoelektrischen Schicht (10) durch Anlegen einer Polarisierungsspannung an die Elektroden (12, 14), um in der p...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen akustischen Wandlern, mit den Schritten:Vorsehen mindestens einer piezoelektrischen Schicht (10) mit Elektroden (12, 14); Polarisieren der piezoelektrischen Schicht (10) durch Anlegen einer Polarisierungsspannung an die Elektroden (12, 14), um in der piezoelektrischen Schicht (10) eine elektrische Polarisierungsremanenz zu erzeugen, wobei während des Anlegens der Polarisierungsspannung in einer Lücke (20) zwischen den Elektroden (10, 12) ein Feststoff (30) eingebracht ist, der elektrisch isolierende Eigenschaften aufweist, wobei der Feststoff (30) während der Herstellung aus der Lücke (20) entfernt wird, nachdem die Polarisierungsspannung angelegt wurde, und der Feststoff (30) während des Anlegens der Polarisierungsspannung die Elektroden (12, 14) elektrisch trennt, wobei der Feststoff (30) ein elastischer und/oder plastischer Feststoff (30) mit einer höheren Verformbarkeit als die piezoelektrische Schicht (10) oder als eine Membran ist, die die piezoelektrische Schicht (10) trägt, und der Feststoff (30) in die Lücke (20) gedrückt wird, wobei sich die Form des Feststoffs (30) sich zumindest teilweise der Form der Elektroden (12, 14) und/oder der Lücke (20) anpasst.
The method involves providing a piezoelectric layer (10) with electrodes (12,14). The piezoelectric layer is polarized by applying polarization voltage generated by electrodes. Solid materials (30) having electrical insulating properties are introduced in gap between electrodes, when the polarization voltage is applied in a gap (20) between electrodes. An elastomer is made of silicon and plastic material. An independent claim is included for piezoelectric acoustic transducer. |
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