Sensor device for pressure measurement, has signal interface unit which outputs digital signals and receives input signals, and portion of analog components of signal interface unit is formed on sensor semiconductor component

The device (1) has a monolithically formed sensor semiconductor component (6) with sensor structure (14) and an analog meter circuit unit (15) for controlling and/or reading the sensor structure, and for generating measurement signal (S1). A monolithically formed evaluation semiconductor component (5) evaluates the measurement signal and signal communication. A signal interface unit outputs digital signals (S3) and receives input signals (S2). A portion of analog components (22,24,30) of signal interface unit is formed on the sensor semiconductor component. Die Erfindung betrifft eine Sensoreinrichtung (1), insbesondere zur Druckmessung, wobei die Sensoreinrichtung (1) aufweist: ein monolithisch ausgebildetes Sensor-Halbleiterbauelement (6), in dem mindestens eine Sensorstruktur (14) und eine analoge Mess-Schaltungseinrichtung (15) zur Ansteuerung und/oder zum Auslesen der Sensorstruktur (14) und zum Erzeugen eines Messsignals (S1) ausgebildet ist, und ein monolithisch ausgebildetes Auswerte-Halbleiterbauelement (5) zur Auswertung des Messsignals (S1) und zur Signalkommunikation, wobei die Sensoreinrichtung (1) eine Signal-Schnittstelleneinrichtung (34) zur Ausgabe digitaler Ausgabesignale (S3) und Aufnahme von Eingangssignalen (S2) aufweist. Hterbauelement (6) zumindest ein Teil der analogen einrichtung (34) ausgebildet ist.