Vorrichtung zur Erhöhung der Tiefendiskriminierung optisch abbildender Systeme

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erhöhung der Tiefendiskriminierung optisch abbildender Systeme. Eine solche Vorrichtung umfaßt Mittel zur Strukturierung von Beleuchtungslicht in einem Beleuchtungsstrahlengang des optisch abbildenden Systems mit einer gitterartigen Struktur in einer konjugierten Objektebene des optisch abbildenden Systems. Sie umfaßt weiterhin Mittel zur Variation der Position der gitterartigen Strukturen entlang einer optischen Achse des Beleuchtungsstrahlengangs, sowie Mittel zur Variation der Lage einer Abbildung der gitterartigen Struktur auf eine Probe in einer Objektebene. Eine solche Vorrichtung zeichnet sich durch einen mit einer Steuerelektronik bzw. einem Steuerprogramm des optisch abbildenden Systems verbundenen Gitterwechsler zum automatischen Wechsel von der gitterartigen Struktur zu mindestens einer weiteren gitterartigen Struktur und/oder zum Entfernen der gitterartigen Struktur aus dem Beleuchtungsstrahlengang aus. A device for increasing the depth discrimination of optical imaging systems includes elements for structuring illumination light in an illumination beam of the optical imaging system by application of a grating-like pattern in a conjugate object plane of the optical imaging system. The device further elements for varying the position of the grating-like patterns along an optical axis of the illuminating beam, and elements that vary the position of an image of the grating-like pattern on a specimen in an object plane. The invention may include a grating changer connected to an electronic control system or to a control program of the optical imaging system for automatically changing the grating-like pattern to at least one further grating-like pattern and/or for removing the grating like pattern from the illuminating beam path.