Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht

Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeuge...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ULRICH, ANDREAS, WIESER, JOCHEN, HEINDL, THOMAS, DANDL, THOMAS
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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