Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht

Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeuge...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ULRICH, ANDREAS, WIESER, JOCHEN, HEINDL, THOMAS, DANDL, THOMAS
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeugen freier Elektronen, die in das Emissionsgebiet (14) emittierbar sind und mit denen das Gas anregbar ist. Das Emissionsgebiet ist mit Hilfe einer Mikrowellenquelle (11, 12) mit einem Mikrowellenfeld (13) beaufschlagbar, wobei die Leistung des Mikrowellenfelds (13) die Leistung eines von der Elektronenquelle (2) erzeugten Elektronenstrahl (8) übersteigt und wobei das ultraviolette Licht wenigstens teilweise im Bereich des ersten Excimerkontinuums entsteht.