Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht

Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht

Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeuge...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ULRICH, ANDREAS, WIESER, JOCHEN, HEINDL, THOMAS, DANDL, THOMAS
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator ULRICH, ANDREAS
WIESER, JOCHEN
HEINDL, THOMAS
DANDL, THOMAS
description Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeugen freier Elektronen, die in das Emissionsgebiet (14) emittierbar sind und mit denen das Gas anregbar ist. Das Emissionsgebiet ist mit Hilfe einer Mikrowellenquelle (11, 12) mit einem Mikrowellenfeld (13) beaufschlagbar, wobei die Leistung des Mikrowellenfelds (13) die Leistung eines von der Elektronenquelle (2) erzeugten Elektronenstrahl (8) übersteigt und wobei das ultraviolette Licht wenigstens teilweise im Bereich des ersten Excimerkontinuums entsteht.
format Patent
fullrecord <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_DE102010060661A1</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>DE102010060661A1</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_DE102010060661A13</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZLAPyy8qykzOKCnNS1cozUtRCEstSkvMKErNU6gqzVVwLapKLU0Hcsry8xRKc0qKEssy83NSS0pScxV8QNp4GFjTEnOKU3mhNDeDqptriLOHbmpBfnxqcUFicmpeakm8i6uhgZGBoYGBmYGZmaGjoTGx6gBS0TLa</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht</title><source>esp@cenet</source><creator>ULRICH, ANDREAS ; WIESER, JOCHEN ; HEINDL, THOMAS ; DANDL, THOMAS</creator><creatorcontrib>ULRICH, ANDREAS ; WIESER, JOCHEN ; HEINDL, THOMAS ; DANDL, THOMAS</creatorcontrib><description>Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeugen freier Elektronen, die in das Emissionsgebiet (14) emittierbar sind und mit denen das Gas anregbar ist. Das Emissionsgebiet ist mit Hilfe einer Mikrowellenquelle (11, 12) mit einem Mikrowellenfeld (13) beaufschlagbar, wobei die Leistung des Mikrowellenfelds (13) die Leistung eines von der Elektronenquelle (2) erzeugten Elektronenstrahl (8) übersteigt und wobei das ultraviolette Licht wenigstens teilweise im Bereich des ersten Excimerkontinuums entsteht.</description><language>ger</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ; ELECTRICITY</subject><creationdate>2012</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20120524&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=102010060661A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76419</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20120524&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=102010060661A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>ULRICH, ANDREAS</creatorcontrib><creatorcontrib>WIESER, JOCHEN</creatorcontrib><creatorcontrib>HEINDL, THOMAS</creatorcontrib><creatorcontrib>DANDL, THOMAS</creatorcontrib><title>Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht</title><description>Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeugen freier Elektronen, die in das Emissionsgebiet (14) emittierbar sind und mit denen das Gas anregbar ist. Das Emissionsgebiet ist mit Hilfe einer Mikrowellenquelle (11, 12) mit einem Mikrowellenfeld (13) beaufschlagbar, wobei die Leistung des Mikrowellenfelds (13) die Leistung eines von der Elektronenquelle (2) erzeugten Elektronenstrahl (8) übersteigt und wobei das ultraviolette Licht wenigstens teilweise im Bereich des ersten Excimerkontinuums entsteht.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</subject><subject>ELECTRICITY</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2012</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZLAPyy8qykzOKCnNS1cozUtRCEstSkvMKErNU6gqzVVwLapKLU0Hcsry8xRKc0qKEssy83NSS0pScxV8QNp4GFjTEnOKU3mhNDeDqptriLOHbmpBfnxqcUFicmpeakm8i6uhgZGBoYGBmYGZmaGjoTGx6gBS0TLa</recordid><startdate>20120524</startdate><enddate>20120524</enddate><creator>ULRICH, ANDREAS</creator><creator>WIESER, JOCHEN</creator><creator>HEINDL, THOMAS</creator><creator>DANDL, THOMAS</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20120524</creationdate><title>Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht</title><author>ULRICH, ANDREAS ; WIESER, JOCHEN ; HEINDL, THOMAS ; DANDL, THOMAS</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102010060661A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2012</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</topic><topic>ELECTRICITY</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>ULRICH, ANDREAS</creatorcontrib><creatorcontrib>WIESER, JOCHEN</creatorcontrib><creatorcontrib>HEINDL, THOMAS</creatorcontrib><creatorcontrib>DANDL, THOMAS</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>ULRICH, ANDREAS</au><au>WIESER, JOCHEN</au><au>HEINDL, THOMAS</au><au>DANDL, THOMAS</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht</title><date>2012-05-24</date><risdate>2012</risdate><abstract>Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht vorgeschlagen. Die Vorrichtung verfügt über ein Emissionsgebiet (14) für das ultraviolette Licht, in dem sich ein Excimer bildendes Gas befindet. Die Vorrichtung verfügt ferner über eine Elektronenquelle (2) zum Erzeugen freier Elektronen, die in das Emissionsgebiet (14) emittierbar sind und mit denen das Gas anregbar ist. Das Emissionsgebiet ist mit Hilfe einer Mikrowellenquelle (11, 12) mit einem Mikrowellenfeld (13) beaufschlagbar, wobei die Leistung des Mikrowellenfelds (13) die Leistung eines von der Elektronenquelle (2) erzeugten Elektronenstrahl (8) übersteigt und wobei das ultraviolette Licht wenigstens teilweise im Bereich des ersten Excimerkontinuums entsteht.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language ger
recordid cdi_epo_espacenet_DE102010060661A1
source esp@cenet
subjects BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
title Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von ultraviolettem Licht
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-08T00%3A50%3A06IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=ULRICH,%20ANDREAS&rft.date=2012-05-24&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EDE102010060661A1%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true