Cable connector for connecting chamber lid and housing of vacuum chamber for thin-film coating equipment used during glass coating, has holding elements that are formed between chamber lid, housing and plug-in elements respectively

The connector has a plug-in unit (5) that is provided with plug-in elements (8,9). The plug-in elements are provided with plug connectors (11,12). An adjusting element (10) is aligned on tapered end of the plug-in elements for adjusting spacer between plug-in elements. A lid closure direction (17) o...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MUCHAMEDJAROW, DAMIR, BAUER, REINHARDT, LESMANN, STEFFEN, PUENSCH, THOMAS, SMOLKE, MATTHIAS
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:The connector has a plug-in unit (5) that is provided with plug-in elements (8,9). The plug-in elements are provided with plug connectors (11,12). An adjusting element (10) is aligned on tapered end of the plug-in elements for adjusting spacer between plug-in elements. A lid closure direction (17) of lid is orthogonal to movable plane (18). The holding elements (6,7) are formed between chamber lid (2), housing (3) and plug-in elements respectively. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Verbinden von Leitungen an trennbaren Vakuumkammerelementen. In Betracht kommen vorrangig wartungs- und montagebedingt mehrteilig ausgeführte Vakuumkammern, wie beispielsweise solche in Dünnfilm-Beschichtungsanlagen zur Glasbeschichtung. Die Erfindung beru5), die zwei Steckelemente (8, 9) mit jeweils mindestens einen darauf befestigten Steckverbinder (11, 12) und mindestens ein Justierelement (10) als Justiermittel umfasst, wobei - in Steckrichtung - zusammengeführte Steckelemente (8, 9) die Steckverbinder (11, 12) paarweise jeweils eine Leitung verbinden sowie richtungsentgegen trennen, und mittels Justierelement (10) im Zusammenführen der Steckelemente (8, 9) diese zunächst zueinander positioniert und anschließend zueinander formschlüssig gehalten werden, wozu das mechanisch stabile Justierelement (10) an mindestens einem Ende verjüngt und wie die Steckverbinder (11, 12) ausgerichtet ist. Kennzeichnend für die Erfindung ist, dass eine derartige Verbindung an Vakuumkammern (1) im Trennbereich von Vakuumkammerelementen (2, 3) verwendet ist, dass die Steckrichtung der Deckelverschlussrichtung (17) beim Zusammenführen der Vakuumkammerelemente (2, 3) gleicht und dass verbindende Halteelemente (6, 7) jeweils zwischen Vakuumkammerelementen (2, 3) und Steckelementen (8, 9) vorgesehen sind.