Blendeneinheit für ein Teilchenstrahlgerät sowie Teilchenstrahlgerät

Blendeneinheit (108, 109) für ein Teilchenstrahlgerät (100), das eine Teilchenstrahlsäule (100) aufweist, wobei die Teilchenstrahlsäule (100) mindestens einen Teilchenstrahlerzeuger (101) zur Erzeugung eines Teilchenstrahls aufweist, wobei die Blendeneinheit (108, 109) aufweist: - mindestens einen Blendenkörper (120), der mindestens eine erste Seite (121) und mindestens eine zweite Seite (122) aufweist, - mindestens eine Blendenöffnung (108A, 118), die zum Durchtritt von Teilchen des Teilchenstrahls von der ersten Seite (121) des Blendenkörpers (120) zur zweiten Seite (122) des Blendenkörpers (120) ausgebildet ist und die sich von der ersten Seite (121) des Blendenkörpers (120) zur zweiten Seite (122) des Blendenkörpers (120) erstreckt, und wobei - an der zweiten Seite (122) des Blendenkörpers (120) mindestens eine zweite, dreidimensional ausgebildete Ablagerungsunterstützungseinheit (125, 125A) zur Erzeugung von Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselwirkungsstrahlung und zur Bildung von Ablagerungen eines Restgases im Bereich der zweiten Ablagerungsunterstützungseinheit (125, 125A) angeordnet ist, wobei die zweite Ablagerungsunterstützungseinheit (125, 125A) ausgehend von der zweiten Seite (122) des Blendenkörpers (120) in den Blendenkörper (120) hineinragt und/oder wobei die zweite Ablagerungsunterstützungseinheit (125, 125A) ausgehend von der zweiten Seite (122) des Blendenkörpers (120) in eine zur zweiten Seite (122) des Blendenkörpers (120) entgegengesetzte Richtung hervorragt, und wobei die zweite Ablagerungsunterstützungseinheit (125, 125A) von einem zweiten Rand (126) der Blendenöffnung (108A, 118) beabstandet angeordnet ist. The unit (108) has a diaphragm body provided with sides, and apertures (108A, 118) designed for passage of particles from one of the sides of the diaphragm body to the other side of the diaphragm body. A deposition support unit protrudes into the diaphragm body from the latter side of the diaphragm body. The deposition support unit is arranged at a distance from an edge of one of the apertures. Another deposition support unit is designed as a recess on the former side of the diaphragm body. The body and/or the aperture are provided with a coating. The coating is formed of carbon and polymer. An independent claim is also included for a particle beam apparatus comprising a diaphragm unit.