Mikroakustisches Bauelement und Herstellungsverfahren

Das mikroakustische Bauelement besitzt ein Substrat (1), das mindestens eine Schicht (4) aus einem dielektrischen oder piezoelektrischen Material aufweist, und eine metallische Streifenstruktur (2), wobei die Schicht (4) aus dielektrischem oder piezoelektrischem Material und/oder die metallische Str...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	EGGS, CHRISTOPH, HENN, GUDRUN, MENZEL, SIEGFRIED, SCHEINBACHER, GUENTER, SPINDLER, MARIO, RUILE, WERNER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY ELECTRICITY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS RESONATORS
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!