Mikroakustisches Bauelement und Herstellungsverfahren

Das mikroakustische Bauelement besitzt ein Substrat (1), das mindestens eine Schicht (4) aus einem dielektrischen oder piezoelektrischen Material aufweist, und eine metallische Streifenstruktur (2), wobei die Schicht (4) aus dielektrischem oder piezoelektrischem Material und/oder die metallische Str...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	EGGS, CHRISTOPH, HENN, GUDRUN, MENZEL, SIEGFRIED, SCHEINBACHER, GUENTER, SPINDLER, MARIO, RUILE, WERNER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY ELECTRICITY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS RESONATORS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Das mikroakustische Bauelement besitzt ein Substrat (1), das mindestens eine Schicht (4) aus einem dielektrischen oder piezoelektrischen Material aufweist, und eine metallische Streifenstruktur (2), wobei die Schicht (4) aus dielektrischem oder piezoelektrischem Material und/oder die metallische Streifenstruktur (2) mit dem Verfahren der Atomic-Layer-Deposition hergestellt worden ist oder hergestellt werden kann. The microacoustic component has a substrate that has at least one layer (composed of a dielectric or piezoelectric material, and a metallic strip structure. The layer is composed of a dielectric or piezoelectric material and/or the metallic strip structure have/has been produced or can be produced by the atomic layer deposition method.