Durchlaufofen

Durchlaufofen zur thermischen Umsetzung einer auf einem Substrat (3) angeordneten metallischen Vorgängerschicht in einer Gasströmung, insbesondere zur Umsetzung einer metallischen Vorgängerschicht in eine CIGSe-Schicht, mit einem fortlaufenden Tunnel, der eine Mehrzahl von aufeinander folgenden Segm...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FLUECKIGER, ANDREAS, REICHART, ANDREAS, KOETSCHAU, IMMO
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BLASTING CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL FURNACES FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL HEATING INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL KILNS LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS OVENS RETORTS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Durchlaufofen zur thermischen Umsetzung einer auf einem Substrat (3) angeordneten metallischen Vorgängerschicht in einer Gasströmung, insbesondere zur Umsetzung einer metallischen Vorgängerschicht in eine CIGSe-Schicht, mit einem fortlaufenden Tunnel, der eine Mehrzahl von aufeinander folgenden Segmenten (5, 6, 7, 8, 9) umfasst, wobei der Querschnitt des Tunnels in einem mittleren der Segmente (6, 7) kleiner ist als in einem an das mittlere Segment angrenzenden Segment (5, 8, 9). Continuous furnace for the thermal conversion of a metallic precursor layer arranged on a substrate (3) in a gas flow, in particular for the conversion of a precursor layer into a CIGSS layer, with a continuous tunnel, comprising a plurality of successive segments (5, 6, 7, 8, 9), wherein the cross-section of the tunnel in a middle segment (6, 7) is smaller than in a segment (5, 8, 9) adjacent the middle segment.