Piezoelektrische Resonatorstrukturen mit Temperaturkompensation

Ein Verfahren zum Anfertigen eines elektrischen Resonators (100), wobei das Verfahren aufweist:Bilden eines Hohlraums (106) in einem Substrat (101);Bereitstellen einer Schicht eines Opfermaterials (201) in dem Hohlraum (106);Bilden eines Resonatorstapels (102, 103, 104, 105) über dem Hohlraum (106),...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Grannen, Kevin J, Choy, John, Rogers, Carrie A
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY ELECTRICITY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS RESONATORS
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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