Piezoelektrische Resonatorstrukturen mit Temperaturkompensation

Ein Verfahren zum Anfertigen eines elektrischen Resonators (100), wobei das Verfahren aufweist:Bilden eines Hohlraums (106) in einem Substrat (101);Bereitstellen einer Schicht eines Opfermaterials (201) in dem Hohlraum (106);Bilden eines Resonatorstapels (102, 103, 104, 105) über dem Hohlraum (106),...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Grannen, Kevin J, Choy, John, Rogers, Carrie A
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY ELECTRICITY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS RESONATORS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ein Verfahren zum Anfertigen eines elektrischen Resonators (100), wobei das Verfahren aufweist:Bilden eines Hohlraums (106) in einem Substrat (101);Bereitstellen einer Schicht eines Opfermaterials (201) in dem Hohlraum (106);Bilden eines Resonatorstapels (102, 103, 104, 105) über dem Hohlraum (106), wobei das Bilden des Resonatorstapels (102, 103, 104, 105) ein Bilden einer Temperaturkompensationsschicht (104) aufweist, die Borsilikatglas (BSG) aufweist, wobei eine Konzentration von Bor in der BSG-Schicht im Bereich von 0,1 % bis 5,0 % Atommassenprozent oder Gewichtsprozent ist; undEntfernen des Opfermaterials (201) aus dem Hohlraum (106). An acoustic resonator comprises a substrate comprising a cavity. The electrical resonator comprises a resonator stack suspended over the cavity. The resonator stack comprises a first electrode; a second electrode; a piezoelectric layer; and a temperature compensating layer comprising borosilicate glass (BSG).