Verfahren zum Herstellen von Silizium-Wafern, Silizium Wafer und Verwendung eines Silizium-Wafer als Silizium-Solarzelle

Verfahren zum Herstellen von Silizium-Wafern umfassend die Schritte: - Bereitstellen eines Silizium-Einkristall-Keims im Bodenbereich eines Tiegels, wobei der Silizium-Einkristall-Keim eine Keimfläche mit einer -Kristallorientierung senkrecht zum Bodenbereich des Tiegels und eine Kantenfläche mit ei...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: STENZENBERGER, JOSEF, WALTER, JULIANE, KRAUSE, ANDREAS, DIETRICH, MARC
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Verfahren zum Herstellen von Silizium-Wafern umfassend die Schritte: - Bereitstellen eines Silizium-Einkristall-Keims im Bodenbereich eines Tiegels, wobei der Silizium-Einkristall-Keim eine Keimfläche mit einer -Kristallorientierung senkrecht zum Bodenbereich des Tiegels und eine Kantenfläche mit einer -Kristallorientierung parallel zu einer Seitenfläche des Tiegels besitzt; - Aufschmelzen von Reinstsilizium und Bereitstellen im Tiegel; - Erstarren des flüssigen Reinstsiliziums ausgehend vom Bodenbereich des Tiegels auf der Keimfläche des Silizium-Einkristall-Keims, wobei der sich bildende Siliziumblock die -Kristallorientierung weitgehend übernimmt; und - Zerteilen des Siliziumblocks in Wafer derart, dass eine Waferfläche eine -Kristallorientierung aufweist, wobei jeweils zwei gegenüberliegende Waferkanten in der Waferebene parallel zur [110]-Kristallrichtung verlaufen.