Verfahren zum Herstellen von Silizium-Wafern, Silizium Wafer und Verwendung eines Silizium-Wafer als Silizium-Solarzelle
Verfahren zum Herstellen von Silizium-Wafern umfassend die Schritte: - Bereitstellen eines Silizium-Einkristall-Keims im Bodenbereich eines Tiegels, wobei der Silizium-Einkristall-Keim eine Keimfläche mit einer -Kristallorientierung senkrecht zum Bodenbereich des Tiegels und eine Kantenfläche mit ei...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Verfahren zum Herstellen von Silizium-Wafern umfassend die Schritte: - Bereitstellen eines Silizium-Einkristall-Keims im Bodenbereich eines Tiegels, wobei der Silizium-Einkristall-Keim eine Keimfläche mit einer -Kristallorientierung senkrecht zum Bodenbereich des Tiegels und eine Kantenfläche mit einer -Kristallorientierung parallel zu einer Seitenfläche des Tiegels besitzt; - Aufschmelzen von Reinstsilizium und Bereitstellen im Tiegel; - Erstarren des flüssigen Reinstsiliziums ausgehend vom Bodenbereich des Tiegels auf der Keimfläche des Silizium-Einkristall-Keims, wobei der sich bildende Siliziumblock die -Kristallorientierung weitgehend übernimmt; und - Zerteilen des Siliziumblocks in Wafer derart, dass eine Waferfläche eine -Kristallorientierung aufweist, wobei jeweils zwei gegenüberliegende Waferkanten in der Waferebene parallel zur [110]-Kristallrichtung verlaufen. |
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