Method for manufacturing thin film battery e.g. lithium ion battery, involves successively applying insulation layer and current collector layers on substrate, and separating different areas from previously applied layers via laser beam

The method involves successively applying insulation layer (16) and current collector layers (18, 20) on a surface of a substrate (14) i.e. semiconductor substrate (12), for forming a layer of a thin layer battery (10). Different areas are separated laterally from one of the previously applied layers, where the layers are separated via a laser beam. The substrate is selected from a group consisting of a ceramic substrate, a glass substrate and a plastic substrate, where the substrate comprises an integrated switching circuit. An independent claim is also included for a thin layer battery. Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Dünnschichtbatterie (10), wobei zur Bildung einer Schichtfolge der Batterie (10) mehrere Schichten (16, 18, 20, 36, 38) nacheinander auf einer Substratoberfläche eines Substrats (14) aufgebracht werden und unterschiedliche Bereiche (24, 26, 28; 30, 32, 34; 42, 44, 46) mindestens einer der zuvor aufgebrachten Schichten (18, 20, 38) voneinander lateral getrennt werden. Es ist vorgesehen, dass das Trennen mittels Laserstrahl erfolgt. Die Erfindung betrifft weiterhin eine entsprechende Dünnschichtbatterie (10).