Microwave plasma source of microwave distribution system used during plasma treatment process of substrate, has inner tube and conduit that are arranged in coaxial manner, and guard portion arranged in conduit is contacted with inner tube

The source has inner tube (2) and protective tube (3) that are arranged in the vacuum side plane of a vacuum chamber (4) and are supported. A waveguide transformer (7) is arranged with respect to the ground in floating manner. A conduit (8) is arranged axial to inner tube within the coaxial outer tube (6) in the vacuum side plane of vacuum chamber such that the inner tube and conduit are arranged in coaxial manner. A displaceable guard portion (18) is arranged in the conduit, and is contacted with the inner tube. Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenplasmaquelle mit einer Vorrichtung zur Zuführung von Mikrowellenenergie von einer Mikrowellen-Versorgungseinrichtung (1) über einen Wellenleiter-Übergang (7) und ein koaxiales Leitersystem zu einem Innenleiter (2) innerhalb eines Schutzrohres (3), welches innerhalb einer Vakuumkammer (4) angeordnet und gegenüber der Atmosphäre abgedichtet ist. Der Innenleiter (2) und das Schutzrohr (3) enden in der vakuumseitigen Ebene der Vakuumkammer (4) und sind dort gehaltert. Der Wellenleiter-Übergang (7) liegt einseitig potentialfrei an Masse. Axial zum Innenleiter (2) ist ein Leitungsrohr (8) als Koaxial-Innenleiter angeordnet, welches axial innerhalb eines Koaxial-Außenleiters (6) bis in die vakuumseitigen Ebene der Vakuumkammer (4) verläuft. Innerhalb des Leitungsrohres (8) ist ein verschiebbarer Leiterstab (18) vorgesehen, derart dass er mit dem Innenleiter (2) kontaktierbar ist.