Vorrichtung zur Positionsbestimmung eines Läuferelementes in einem Planarantrieb und dergleichen Bewegungssystem

Vorrichtung zur Positionsbestimmung eines Läuferelementes in einem Planarantrieb und dergleichen Bewegungssystem, umfassend einen kompakten Sensormesskopf (8) mit auf einem Sensorträger (8a) angeordneten Sensorelementen (1, 2, 3, 4, 5, 6, 7) zum Erfassen von Bewegungen des Läuferelementes in drei translatorischen Freiheitsgraden (x, y, z) und drei Rotationsfreiheitsgraden (rx, ry, rz) sowie einem relativ zum Sensormesskopf bewegten, von den Sensorelementen abgetasteten, den Sensorelementen gegenüberliegend angeordneten inkrementalen Flächenmassstab (9), dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes Sensorelement (1), ein zweites Sensorelement (2) und ein drittes Sensorelement (3) in Form eines ersten Elementepaares (1a, 1b), eines zweiten Elementepaares (2a, 2b) und eines dritten Elementepaares (3a, 3b) ausgebildet ist, ein siebentes Sensorelement (7) in Form eines Mehrfachelementes (7a, 7b, 7c) ausgebildet ist, wobei das Mehrfachelement (7a, 7b, 7c) gleichmäßig auf einem ersten Abtastkreis (K1) verteilt ist, die ersten Elementepaare (1a, 1b) und dritten Elementepaare (3a, 3b) gleichmäßig auf einem zweiten Abtastkreis (K2) in Form sich jeweils gegenüberliegender Einzelelemente angeordnet sind und der erste Abtastkreis (K1) und der zweite Abtastkreis (K2) einen gemeinsamen Abtastmittelpunkt (13) aufweisen.