Beschichtungsanlage und Verfahren zur Beschichtung von Halbleiterscheiben in Beschichtungsanlagen

Verfahren zur Beschichtung von Halbleiterscheiben in einer Beschichtungsanlage, bei dem die Halbleiterscheiben innerhalb mindestens eines Funktionsbereichs beschichtet werden, wobei einzelne Halbleiterscheiben in mindestens zwei Reihen nebeneinander und in mindestens zwei Reihen hintereinander direk...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FUCHS, INGOLF, GOTTSMANN, LUTZ
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION ORPROCESSING OF GOODS COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Verfahren zur Beschichtung von Halbleiterscheiben in einer Beschichtungsanlage, bei dem die Halbleiterscheiben innerhalb mindestens eines Funktionsbereichs beschichtet werden, wobei einzelne Halbleiterscheiben in mindestens zwei Reihen nebeneinander und in mindestens zwei Reihen hintereinander direkt auf ein Förderband mindestens einer Transporteinrichtung aufgelegt werden und auf dem Förderband in die Beschichtungsanlage hinein, durch mindestens einen Funktionsbereich hindurch und aus der Beschichtungsanlage heraus transportiert werden.