Doppelaxialer Drehratensensor

Mikromechanischer Drehratensensor, umfassend zumindest ein Substrat, wobei der Drehratensensor zumindest eine erste und eine zweite seismische Masse aufweist, welche mittels wenigstens eines Kopplungsbalken miteinander gekoppelt sind und wobei der Drehratensensor so ausgebildet ist, dass er Drehraten um zumindest eine erste und eine zweite sensitive Achse erfassen kann, wobei jeder seismischen Masse mindestens eine Aktoreinheit zugeordnet ist, mit welcher das Auslenkungsverhalten der seismischen Masse beeinflussbar ist. A micromechanical rotation rate sensor, comprising at least one substrate, wherein the rotation rate sensor has at least a first and a second seismic mass which are coupled to one another by means of at least one coupling beam, and wherein the rotation rate sensor is embodied in such a way that it can detect rotation rates about at least a first and a second sensitive axis, wherein each seismic mass is assigned at least one actuator unit with which the deflection behavior of the seismic mass can be influenced.