Micro-membrane pump for micro membrane pump system, comprises elastic element, membrane and pump chamber, where membrane limits pump chamber on one side, and membrane is actuated on outer side of micro membrane pump

The micro-membrane pump (11) comprises an elastic element (14), a membrane (12) and a pump chamber (13), where the membrane limits the pump chamber on one side. The membrane is actuated on an outer side of the micro membrane pump. A membrane contact side (16) of the elastic element, partial laterally overlaps the actuated side (15) of the membrane. Independent claims are also included for: (1) an actuator device for actuating a membrane of a micro membrane; (2) a micro membrane pump system with an actuator plunger; and (3) a method for producing a micro-membrane pump. Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikromembranpumpe (11), eine Aktorvorrichtung (21) zum Aktuieren einer Mikromembranpumpe (11) und ein Mikromembranpumpensystem (11, 21). Um die Justage einer Aktorvorrichtung (21) an der Membran (15) einer Mikromembranpumpe (11) zu vereinfachen und eine Beschädigung oder Zerstörung der Membran (15) zu vermeiden, weisen die Mikromembranpumpe (11), die Aktorvorrichtung (21) und das Mikromembranpumpensystem (11, 21) ein elastisches Element (14, 24) auf. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Mikromembranpumpe (11), einer Aktorvorrichtung (21) und/oder eines Mikromembranpumpensystems (11, 21) sowie die Verwendung derartiger Mikromembranpumpen (11), Aktorvorrichtungen (21) und Mikromembranpumpensysteme (11, 21).