Herstellungsverfahren für eine Festschmierstoffstruktur eine mit dem Herstellungsverfahren hergestellte Festschmierstoffstruktur sowie Verwendungen

Herstellungsverfahren für eine Festschmierstoffstruktur, wobei auf eine Substratbasis (1) und/oder verbunden mit einer Substratbasis (1) ein mindestens eine Schicht (2a) enthaltend oder bestehend aus diamantartigen/m Kohlenstoff DLC umfassendes Schichtsystem (2) ausgebildet wird, wobei entweder nur im Schichtsystem (2) oder sowohl im Schichtsystem (2), als auch in der Substratbasis (1) eine Vielzahl einzelner Vertiefungen (3a, 3b, ...), die zusammen eine Vertiefungsstruktur (3) ausbilden, ausgebildet wird, und wobei Vertiefungen (3a, 3b, ...) der Vertiefungsstruktur (3) teilweise mit mindestens einem Festschmierstoff (4) gefüllt werden, wobei der Abstand d (d1, d2) benachbarter Vertiefungen (3a, 3b, ...) der Vertiefungsstruktur (3) und/oder die Periodizität p der Vertiefungen (3a, 3b, ...) in der Schichtebene des Schichtsystems (2) zwischen 80 nm und 500 μm beträgt/betragen, wobei die Tiefenausdehnung h der Vertiefungen (3a, 3b, ...) zwischen 5 nm und 50 μm beträgt, wobei die laterale Ausdehnung l der Vertiefungen (3a, 3b, ...) in der Schichtebene des Schichtsystems (2) zwischen 10 nm und 250 μm beträgt und/oder wobei das Aspektverhältnis A = h/l von vorstehender Tiefenausdehnung h und vorstehender lateraler Ausdehnung l 0,1 bis 10 beträgt und die Laserbestrahlung der Substratbasis (1) oder des Schichtsystems (2) erfolgt, indem mehrere kohärente Laserstrahlen (7a, 7b, ...) in einem Überlagerungsbereich (U) unter vordefiniertem/n Winkel(n) zur Interferenz gebracht werden und indem die Substratbasis (1) oder das Schichtsystem (2) an einer vordefinierten Position in diesem Überlagerungsbereich (U) positioniert wird. The invention relates to a solid lubricant structure, in particular a solid lubricant structure designed for a vacuum-tribological use, comprising a substrate base (1) and a layer system (2) that adjoins or is connected to said substrate base (1), said layer system (2) comprising at least one layer (2a) that contains or consists of diamond-like carbon DLC. A plurality of individual depressions (3a, 3b,...) forming a structure (3) of depressions is formed in the layer system (2) or in both the layer system (2) and the substrate base (1). At least one, preferably several, preferably all of the depressions (3a, 3b,...) is/are filled at least in part with at least one solid lubricant (4).