ECR-Plasmaquelle mit einem Beschichtungsschutz und Anwendung des Beschichtungsschutzes

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	PRUESTEL, MARIO, ACKERMANN, ECKEHARDT
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS
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