Chloridhaltiges Silicium

Amorphes chloriertes Polysilan mit der empirischen Formel SiClx mit x = 0,01 bis 0,8.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: DELTSCHEW, RUMEN, MOHSSENI-ALA, SEYED-JAVAD, AUNER, NORBERT, DR, LIPPOLD, GERD, BAUCH, CHRISTIAN, HOLL, SVEN
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Amorphes chloriertes Polysilan mit der empirischen Formel SiClx mit x = 0,01 bis 0,8.