Reflection microscope for use in e.g. ellipsometry area, has lens comprising optical section, which exhibits numerical inlet aperture that is equal to sine of arctangent of multiple of tangent teta and mapping norm

The microscope has an even platform provided for holding a sample (14) in a sample level (20). Detection lens has an optical section (12) that is aligned on a sample platform, where the optical section has an optical axis (10). The lens has another optical section (34), which exhibits an optical axis (36) that runs parallel to normal of an image level (24) such that a real image is produced in an image level (38) to produce a mapping norm. The latter optical section exhibits a numerical inlet aperture that is equal to sine of arctangent of multiple of tangent teta and mapping norm. Die Erfindung bezieht sich auf ein Reflexionsmikroskop, umfassend - eine ebene Probenplattform zur Halterung einer Probe (14) in einer Probenebene (20) und - eine Detektionsoptik (12, 34) mit einem auf die Probenplattform gerichteten, ersten optischen Abschnitt (12), der eine erste optische Achse (10) hat, die einen Detektionswinkel zwischen 40° und 80° zu der optikseitigen Normalen (18) der Probenplattform aufweist, und mittels dessen in einer ersten, schräg zu der Probenebene (20) und der ersten optischen Achse (10) stehenden Bildebene (24) ein erstes reelles Bild, nämlich ein reelles Bild der Probe (14), mit einem ersten Abbildungsmaßstab M1 erzeugbar ist. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die Detektionsoptik (12, 34) einen auf die erste Bildebene (24) gerichteten, zweiten optischen Abschnitt (34) umfasst, der eine zweite optische Achse (36) aufweist, die parallel zur Normalen der ersten Bildebene (24) verläuft, und mittels dessen in einer zweiten Bildebene (38) ein zweites reelles Bild, nämlich ein reelles Bild des ersten reellen Bildes, mit einem zweiten Abbildungsmaßstab M2 erzeugbar ist, wobei die numerische Eingangsapertur NA2des zweiten Detektionsabschnitts (34) mindestens NA2= sin(arctan (M1tan( ))) beträgt.