Verfahren zur Beschichtung einer metallischen Substratoberfläche mit einer durch einen ALD-Prozess aufgebrachten Materialschicht

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung einer metallischen Substratoberfläche mit einer durch einen ALD-Prozess aufgebrachten Materialschicht. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die zu beschichtende metallische Substratoberfläche vor dem Aufbringen der Materialschicht einer mindesten...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DUSS, MARTIN, SCHOETTLE, MARCO
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung einer metallischen Substratoberfläche mit einer durch einen ALD-Prozess aufgebrachten Materialschicht. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die zu beschichtende metallische Substratoberfläche vor dem Aufbringen der Materialschicht einer mindestens zweistufigen Plasma-Vorbehandlung unterzogen wird, wobei in einer ersten Stufe der zweistufigen Plasma-Vorbehandlung eine Reduktion der Substratoberfläche mit einem reduzierenden Plasma und anschließend in einer zweiten Stufe eine Oxidation der zu beschichtenden Substratoberfläche mit einem oxidierenden Plasma durchgeführt wird.