Vorrichtung zum Ablenken eines Lichtstrahls in zwei unterschiedliche Richtungen und Scan-Mikroskop

Vorrichtung (20) zum Ablenken eines Lichtstrahls in zwei unterschiedliche Richtungen, mit einem Spiegel (22), einem ersten Drehstellelement (24), das sich abhängig von einem ersten Stellsignal um eine erste Achse (54) dreht, einem zweiten Drehstellelement (26), das entlang der ersten Achse (54) gege...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Böhm, Ingo, Dipl.-Phys, Fehrer, Dirk-Oliver, Dipl.-Ing
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Vorrichtung (20) zum Ablenken eines Lichtstrahls in zwei unterschiedliche Richtungen, mit einem Spiegel (22), einem ersten Drehstellelement (24), das sich abhängig von einem ersten Stellsignal um eine erste Achse (54) dreht, einem zweiten Drehstellelement (26), das entlang der ersten Achse (54) gegenüber dem ersten Drehstellelement (24) angeordnet ist und das sich abhängig von einem zweiten Stellsignal um die erste Achse (54) dreht, einem ersten Federelement (28), das mit dem ersten Drehstellelement (24) und in einer Ruhelage des Spiegels außerhalb der ersten Achse (54) in einem vorgegebenen ersten Abstand zu dieser mit dem Spiegel (22) verbunden ist, einem zweiten Federelement (30), das mit dem zweiten Drehstellelement (26) und dem Spiegel (22) verbunden ist, einer Fassung (32) über die das erste und/oder das zweite Federelement (28, 30) mit dem Spiegel (22) verbunden sind und mit einem äußeren Führungselement (42), das zwei Ausnehmungen hat, die konzentrisch zu der ersten Achse (54) ausgebildet sind und die jeweils zumindest einen Teil der Drehstellelemente (24, 26) oder eine Halterung (44, 46) der Drehstellelemente (24, 26) in radialer Richtung umgeben, und das mit der Fassung (32) des Spiegels (22) über je ein Drehlager (38, 40) gekoppelt ist, das entlang einer zweiten Achse (56) angeordnet ist, die senkrecht auf der ersten Achse (54) steht.