Sensoranordnung und Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung

Sensoranordnung (1), insbesondere Drehratensensor, mit einem Substrat (2) und einem auf dem Substrat (2) angeordneten Sensorelement (3), wobei das Sensorelement (3) eine gegenüber dem Substrat (2) auslenkbare seismische Masse zur Sensierung einer Beschleunigung aufweist und wobei das Sensorelement (3) ein Detektionselement zur Erzeugung eines ersten Sensorsignals (10) in Abhängigkeit einer Auslenkung der seismischen Masse aufweist, wobei auf dem Substrat (2) ferner ein Pulsweitenmodulator (4) angeordnet ist, welcher zur Erzeugung eines zweites Sensorsignals (10') durch eine Pulsweitenmodulation des ersten Sensorsignals (10) konfiguriert ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Pulsweitenmodulator (4) einen mikromechanischen Komparator (5) umfasst, welcher zum Vergleichen des ersten Sensorsignals (10) mit einem Trägersignal (12) konfiguriert ist. The sensor arrangement (1) has a substrate (2) and a sensor element (3) arranged on the substrate. The sensor element has a seismic mass for sensing acceleration. The seismic mass is deflected opposite to the substrate. The sensor element has a detection element for generating a sensor signal (10) depending on the deflection of the seismic mass. A pulse width modulator (4) is arranged on the substrate, which is configured for generating another sensor signal by pulse width modulation of the former sensor signal. An independent claim is also included for a method for operating a sensor arrangement.