Drehratensensor, Drehratensensoranordnung und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors

Drehratensensor (1) mit einem eine Haupterstreckungsebene (100) aufweisenden Substrat (2) und einem Coriolis-Element (3), wobei das Coriolis-Element (3) zu einer Schwingung entlang einer zur Haupterstreckungsebene (100) senkrechten dritten Richtung (Z) anregbar ist, wobei eine Coriolis-Auslenkung de...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Ohms, Torsten, Classen, Johannes, Hauer, Joerg, Meisel, Daniel Christoph
Format: Patent
Sprache:ger
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