Drehratensensor, Drehratensensoranordnung und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors
Drehratensensor (1) mit einem eine Haupterstreckungsebene (100) aufweisenden Substrat (2) und einem Coriolis-Element (3), wobei das Coriolis-Element (3) zu einer Schwingung entlang einer zur Haupterstreckungsebene (100) senkrechten dritten Richtung (Z) anregbar ist, wobei eine Coriolis-Auslenkung de...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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