Drehratensensor, Drehratensensoranordnung und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors

Drehratensensor (1) mit einem eine Haupterstreckungsebene (100) aufweisenden Substrat (2) und einem Coriolis-Element (3), wobei das Coriolis-Element (3) zu einer Schwingung entlang einer zur Haupterstreckungsebene (100) senkrechten dritten Richtung (Z) anregbar ist, wobei eine Coriolis-Auslenkung des Coriolis-Elements (3) entlang einer zur Haupterstreckungsebene (100) parallelen ersten Richtung (X) mittels eines Detektionsmittels (4) detektierbar ist und wobei das Detektionsmittel (4) eine mit dem Coriolis-Element (3) verbundene Coriolis-Elektrode (40) und eine korrespondierende Gegenelektrode (41) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die Coriolis-Elektrode (40), als auch die Gegenelektrode (41) zur Schwingung entlang der dritten Richtung (Z) anregbar sind,wobei der Drehratensensor (1) einen zu einer Schwingung entlang der dritten Richtung (Z) anregbaren Antriebsrahmen (5) aufweist, welcher mit dem Coriolis-Element (3) gekoppelt ist, wobei die Gegenelektrode (41) mit dem Antriebsrahmen (5) verbunden ist,wobei der Antriebsrahmen (5) einen ersten Teilbereich (50) und einenzweiten Teilbereich (51) aufweist, wobei die Gegenelektrode (41) mit dem ersten Teilbereich (50) verbunden ist und eine zu einer weiteren Coriolis-Elektrode (42) des Detektionsmittels (4) korrespondierenden weitere Gegenelektrode (43) des Detektionsmittels (4) mit dem zweiten Teilbereich (51) verbunden ist, wobei der erste Teilbereich (50) gegenüber dem zweiten Teilbereich (51) und/oder die Gegenelektrode (41) gegenüber der weiteren Gegenelektrode (43) elektrisch isoliert ist,wobei der erste Teilbereich (50) einen ersten Teil (52) und einen vom ersten Teil (52) elektrisch isolierten zweiten Teil (53) aufweist, wobei die Gegenelektrode (41) eine mit dem ersten Teil (52) verbundene erste Gegenelektrode (44) und eine mit dem zweiten Teil (53) verbundene zweite Gegenelektrode (45) umfasst und wobei der zweite Teilbereich (51) einen dritten Teil (54) und einen vom dritten Teil (54) elektrisch isolierten vierten Teil (55) aufweist, wobei die weitere Gegenelektrode (43) eine mit dem dritten Teil (54) verbundene dritte Gegenelektrode (46) und eine mit dem vierten Teil (55) verbundene vierte Gegenelektrode (47) umfasst. A yaw rate sensor having a substrate which has a main plane of extension, and a Coriolis element is proposed. The Coriolis element is excitable to a vibration along a third direction which is perpendicular to the main plane of extension. A Coriolis deflection of the Coriolis