Verfahren zur Bestimmung der inneren Struktur einer Probe

Es wird beschrieben ein Verfahren zur Bestimmung der inneren Struktur einer Probe, wobei mittels optischer Weglängen erfassender Abbildungen Schnittbilder in mindestens einer ersten, in die Probe hineinverlaufenden Ebene erzeugt werden, wobei längs einer ersten Abbildungsrichtung ein erstes Schnittbild der Probe, das in der in die Probe hineinverlaufenden Ebene liegt, erzeugt wird, längs einer zwer Probe, das ebenfalls in der in die Probe hineinverlaufenden Ebene liegt, erzeugt wird, erste optische Koordinaten mindestens eines Strukturelementes im ersten Schnittbild und zweite optische Koordinaten des mindestens einen Strukturelementes im zweiten Schnittbild ermittelt werden, und aus ersten und zweiten Koordinaten die bei den Abbildungen wirksame Brechzahl ermittelt und damit brechzahlbeeinflussungskorrigierte physikalische Koordinaten des mindestens einen Strukturelementes bestimmt werden.